产品简介：

OLED 专用显微镜是利用金属光激发OLED发光后测量OLED蒸镀尺寸和偏移等缺陷的显微镜。影像量测著重于精准度，系统底座采用铸件/花岗石本体结构，减震系统克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题。系统采用XY轴光学尺模块可实现跨距量测。光学系统采用Nikon/Olympus荧光显微镜光路实现对OLED的激发。人性化计算机量测模式，有效提高观察定位效率。为使用者设计完美机型，使操作更便利、测量更迅速。

产品概述

产品特点：

• 手动量测系统XY采用精密无牙螺杆传动，减少齿轮传动偏移误差
• 线性马达/伺服马达用于自动化量测传动系统，能实现高精度测量
• 系统采用被动式or主动式减震系统，能克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题
• 系统使用Nikon/Olympus 荧光显微光路，有效激发OLED发射光谱
• 系统使用人体工学设计理念设计，符合友好化测量

设备应用：
设备主要应用OLED的显微分析和蒸镀测量上