产品名称：晶圆轮廓尺寸测量仪

产品型号：PZ-W350C

仪器品牌：品智创思

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

一、产品介绍：

晶圆轮廓尺寸测量仪PZ-W350C又称晶圆形貌 / 边缘 / 几何量测系统，这是半导体制造从衬底到芯片全流程中，用于非接触 / 微接触测量晶圆二维外形、三维表面 / 边缘轮廓、厚度、翘曲、TTV 等关键几何参数的核心质检设备，严格遵循 SEMI 标准，适配硅、SiC、GaN、蓝宝石等各类晶圆，覆盖研发、衬底加工、光刻 / 刻蚀、减薄、划片、封测全场景。

晶圆轮廓尺寸测量仪PZ-W350C是品智创思公司推出的一款三维光学轮廓尺寸测量仪产品，依托多年专业研发与生产经验，结合专业测量软件，将产品的全自动、高精度、高稳定特性发挥至极致。除能够测量晶圆产品厚度外，还可被用于测量半导体晶圆的厚度、高度、深度、翘曲度、平面度、长度、宽度、角度、直径、距离等尺寸信息，配备专用载片兼容6英寸、8英寸、12英寸。

二、核心特点：

1、整机用料与设计

• 精湛的结构与外观设计，彰显品智公司对产品质量与工业设计美学的追求。

• 整体机身花岗岩结构，超精密加工工艺，通过FEA有限元受力分析，长期物理性能稳定。

• 支持Z轴行程定制加高。

2、光学成像系统

• 光学单元：高精度连续自动变倍镜头，光学放大倍率范围0.7X-4.5X, 影像放大倍率范围18X-230X，物方视场10.09*7.57*12.62mm（水平*垂直*对角）。

• 成像单元：200万像素高清彩色工业数字相机，1/1.7''靶面尺寸（相较传统1/3''靶面相机，相同倍率下可获得更大视野范围），4.5*4.5μm像元尺寸（感光特性更佳），日本索尼IMX430高性能 CMOS图像传感器，全局曝光快门，刷新帧率60FPS.

• 光源组合：标配表面环形光、透射轮廓底光、同轴光，均为程控亮度调节。

3、激光测厚系统

• 高精度光谱共焦位移传感器：工作距离16mm, 有效量程±0.6mm, 线性精度0.24μm, 光斑直径9μm, 角度特性±29°, 采样频率10kHz.

• 采用上、下双激光对射工作模式，叠加高精度计数光栅尺，实现对晶圆等薄壁件精密产品厚度高精度测量。

• 支持光栅脉冲信号编码触发扫描测量方式，真实还原产品表面形状比例与变化趋势。

4、计数系统

• 三轴标配0.1μm分辨率高精度光栅尺。

• 计数显示单位0.01μm.

• 运动控制、驱动及导向系统

• 专用全闭环CNC运动控制系统。

• 专用交流伺服电机。

• 精密导轨与丝杆。

5、专业测量软件

• 品智公司完全自主设计与研发，功能全面、界面简洁、简单易学、性能出众。

• 支持多种语言环境，包括但不限于：中文简体、中文繁体、英语、韩语、日语等。

• 支持快速响应客户定制化需求，且具备极强的成本经济性。

• 支持灵活对接客户MES/SPC系统，实现关键测量数据智能上传。

6、多种类测量传感器

• 支持影像、点激光复合式测量应用场景，并可在程序运行过程中自动有序切换测量，影像传感器实现平面尺寸测量，点激光传感器实现厚度、平面度、翘曲度、高度差等尺寸测量。

7、特色功能

• 智能扫码：支持影像扫码、工业读码器、手持式扫码枪等多种方式，将产品ID信息与测量数据关联，提升客户数据管理与追溯能力。

• 温度误差补偿：支持“温度系数”、“绝对比例”两种专用模式。

  
  

三、软件功能：

1、自动对焦效率：单次影像对焦耗时约1.5秒，且仅刷新对焦框内画面，对焦框外画面保持临时锁定，直至对焦动作完成。

2、自动对焦精度：1000X以上高倍率影像自动对焦重复精度≤1μm.

3、多点同时自动对焦：同一视野范围内支持设定多个对焦框，可实现多处位置同时自动对焦，提升综合测量效率，并支出输出整体对焦清晰后成像源图，供专业观察或分析使用。

4、影像放大倍率：放大倍率可达2800X.【该功能需特殊配套硬件支持】

5、AI寻边：AI=Artificial Intelligence, 即人工智能寻边，专门用于解决复杂、特征显示不明显元素的自动智能识别；支持大模型深度学习，单一模型训练耗时短；界面简单，操作便捷，有效减少人工手动点选工作量，消除人为测量误差同时，大幅提升综合测量效率。【该功能需特殊配套硬件支持】

6、半导体键合尺寸专测：晶圆轮廓尺寸测量仪PZ-W350C通过影像高精度、快速对焦直接测量半导体关键尺寸，包括但不限于：焊球大小(Ball Size)、球心偏移(Ball Shift)、焊球最大挤出直径(Max. Diameter)、焊球厚度(Ball Height)、焊线弧高(Loop Height)、鱼尾自动识别等。【该功能需特殊配套硬件支持】

7、3D超景深影像合成：可在超高倍率下实现Z轴自动对焦叠图，并能生成三维立体合成图像，供专业观察或分析使用。【该功能需特殊配套硬件支持】

8、飞拍超快速运动测量：以相较于传统影像测量5倍以上的运动速度，快速、不停顿完成产品目标尺寸测量。【该功能需特殊配套硬件支持】

9、外观缺陷辅助检测：利用特定光学系统，实现产品外观缺陷检测辅助取图，再通过专用协议将图片高速传输至专业外观缺陷分析服务器，并支持接收和处理服务器反馈分析结果状态，协助客户有效较低外观缺陷取图设备综合采购成本。【该功能需特殊配套硬件支持】

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